WF6 ძირითადად გამოიყენება როგორც ნედლეული ელექტრონიკის ინდუსტრიაში ლითონის ვოლფრამის ქიმიური ორთქლის დეპონირების (CVD) პროცესისთვის. WF6-ისგან დამზადებული WSi2 შეიძლება გამოყენებულ იქნას როგორც გაყვანილობის მასალა ფართომასშტაბიან ინტეგრირებულ სქემებში (LSI), ასევე შეიძლება გამოყენებულ იქნას როგორც ნედლეული ნახევარგამტარული ელექტროდებისთვის, ფტორის ნედლეული ქიმიური აგენტებისთვის, პოლიმერიზაციის კატალიზატორები, ოპტიკური მასალები და ა.შ.