WF6 ძირითადად გამოიყენება როგორც ნედლეული ლითონის ვოლფრამის ქიმიური ორთქლის დეპონირების (CVD) პროცესისთვის ელექტრონიკის ინდუსტრიაში. WF6-ისგან დამზადებული WSi2 შეიძლება გამოყენებულ იქნას როგორც გაყვანილობის მასალა ფართომასშტაბიან ინტეგრირებულ სქემებში (LSI) და ასევე შეიძლება გამოყენებულ იქნას როგორც ნედლეული ნახევარგამტარული ელექტროდებისთვის, ფტორის ნედლეული ქიმიური აგენტებისთვის, პოლიმერიზაციის კატალიზატორებისთვის, ოპტიკური მასალებისთვის და ა.შ.